地址:湖南省龍岩市永定區高陂鎮永定工業(ye) 園區

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湖南PA视讯科技有限公司關於Nikon光刻機維修調試項目采購公告
Date:2022/11/25 瀏覽人數:3315

湖南PA视讯科技有限公司

關(guan) 於(yu) Nikon光刻機維修調試項目采購公告

一、項目名稱

湖南PA视讯科技有限公司Nikon光刻機維修調試項目

二、服務要求說明

見附件

三、投標有關(guan) 事項及要求

1.必須響應驗收技術要求;

2.當有下列情況之一發生時,將依廢標處理:

2.1報價(jia) 函有塗改的;

2.2修改原報價(jia) 單報價(jia) 明細的;

2.3投標人不足三家的;

2.4本次采購項目報價(jia) 最高限價(jia) 為(wei) 人民幣18萬(wan) 元(含國家規定的增值稅稅費)。高於(yu) 最高限價(jia) 的報價(jia) 為(wei) 無效報價(jia) ,作廢標處理。

四、投標截止日期

投標截止時間:即日起至2022年112917:00(以收到參選材料時間為(wei) 準)

五、報名方式、郵寄地址

參選材料須在規定的投標截止期限前快遞或直接密封送達至我司。

郵寄地址:龍岩市永定區高陂鎮永定工業(ye) 園區湖南PA视讯科技有限公司

聯係人:吳女士

聯係電話:19906970336  (0597-3011820)

六、參選材料

1.營業(ye) 執照複印件(加蓋公章);

2.法人身份證複印件(加蓋公章);

3.報價(jia) 函(加蓋公章);

4.服務內(nei) 容與(yu) 驗收技術要求(加蓋公章)

七、定標方式

本次采購項目采用最低價(jia) 中標方式,即總報價(jia) 最低單位為(wei) 第一中標人,相同報價(jia) 時優(you) 先選擇服務過本企業(ye) 項目的投標人。

八、注意事項

1.參選人在參與(yu) 本次比選過程中須嚴(yan) 格遵守國家有關(guan) 法律法規、政策及廉潔從(cong) 業(ye) 的各項規定。

2.中標人需在收到中標通知書(shu) 3個(ge) 工作日內(nei) 與(yu) 招標方簽訂合同。

3.業(ye) 務聯係人:鍾女士    

聯係電話:13600999797 

 

 

 

 

 

 

附件 

服務內(nei) 容與(yu) 驗收技術要求

 

一、設備編號、型號、數量

序號

設備編號

設備型號

數量

單位

1

GKJ15

i8

1

二、設備調試地點:

湖南PA视讯科技有限公司廠內(nei) 。

三、交貨(工程)期限:

乙方向甲方承諾有技術、條件、人員及能力對甲方Nikon i8光刻機進行維修調試在合同生效後乙方需在20天內(nei) 將甲方現場i8光刻機維修調試完成並交付生產(chan) 使用。

四、驗收技術要求

1硬件測試

No.

Acceptance Item

Specifications

響應與(yu) 否

偏離情況

1

分辨率(Resolution

0.55um um L&S (At best Focus)



2

焦深(DOF

0.6umDOF /10%CD variation



3

曝光強度

Exposure Power

500mW/cm2 or More (flash)



5

照明均勻性

Illumination Uniformity

Within ±2.0%



6

工作台步進精度

Stepping Precision

3σ≤90nm



7

掩膜旋轉(Reticle Rotation)

|M|+3σ≤20nm



8

wafer flatness(Max-Min)

<20 1/10micron)



9

平整度:Chip leveling accuracy

Within +/-1.5sec



 

2、招標人提供條件:

本次維修調試投標人包工包料,維修期間設備所需更換的所有配件,由投標人負責購買(mai) 及更換,招標人隻提供基本的水電等基本設施。

3、設備質量要求及驗收指標:

投標人的調試遵循設備原廠的設備運行原理,在調試後應恢複到最好性能和精度,滿足招標人大規模、穩定光刻生產(chan) 的需求;設備硬件及工藝問題,投標人負責維修和調試驗收的方法為(wei) 必須達到招標人能大規模生產(chan) PSS工藝產(chan) 品所需的工藝技術要求,選用Φ100.8mm標準藍寶石片進行測試。投影光刻專(zhuan) 用i線光刻膠,其中藍寶石TTV≤5,塗膠膜厚中心值在2.6±0.1μm範圍內(nei) ,膠厚均勻性≤2.0%。

驗收指標

1、曝光場尺寸8.5×8.5mm,以我司AOI為(wei) 檢測標準做出的PSS光刻產(chan) 品產(chan) 出無格線或明暗場、無拚接錯位;

2、曝光場尺寸8.5×8.5mm產(chan) 能525/天。

3、在設備量產(chan) 操作的情況下連續800片內(nei) 無任何非人為(wei) 異常故障與(yu) 失誤。

其他工藝條件:按i線光刻工藝及相關(guan) 投影工藝而定。測定方法按行業(ye) 通行的電鏡法或雙方認可的其他方法進行。