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地址:湖南省龍岩市永定區高陂鎮永定工業(ye) 園區
湖南PA视讯科技有限公司
關(guan) 於(yu) Nikon光刻機維修調試項目采購公告
一、項目名稱
湖南PA视讯科技有限公司Nikon光刻機維修調試項目
二、服務要求說明
見附件
三、投標有關(guan) 事項及要求
1.必須響應驗收技術要求;
2.當有下列情況之一發生時,將依廢標處理:
2.1報價(jia) 函有塗改的;
2.2修改原報價(jia) 單報價(jia) 明細的;
2.3投標人不足三家的;
2.4本次邀標報價(jia) 最高限價(jia) 為(wei) 人民幣18萬(wan) 元(含國家規定的增值稅稅費)。高於(yu) 最高限價(jia) 的報價(jia) 為(wei) 無效報價(jia) ,作廢標處理。
四、報價(jia) 截止日期
報價(jia) 截止時間:即日起至2023年2月7日下午17:00(以收到報價(jia) 函時間為(wei) 準)
五、報名方式、郵寄地址
參選材料須在規定的投標截止期限前快遞或直接密封送達至我司。
郵寄地址:龍岩市永定區高陂鎮永定工業(ye) 園區湖南PA视讯科技有限公司
聯係人:吳女士
聯係電話:19906970336 (0597-3011820)
六、參選材料
1.營業(ye) 執照複印件(加蓋公章);
2.法人身份證複印件(加蓋公章);
3.報價(jia) 函(加蓋公章);
4.服務內(nei) 容與(yu) 驗收技術要求(加蓋公章)。
七、定標方式
本次比選活動,采用最低價(jia) 中標方式,即總報價(jia) 最低單位為(wei) 第一中標人,相同報價(jia) 時優(you) 先選擇服務過本企業(ye) 項目的投標人。
八、注意事項
1.參選人在參與(yu) 本次比選過程中須嚴(yan) 格遵守國家有關(guan) 法律法規、政策及廉潔從(cong) 業(ye) 的各項規定。
2.中標人需在收到中標通知書(shu) 3個(ge) 工作日內(nei) 與(yu) 招標方簽訂合同。
3.業(ye) 務聯係人:鍾女士
聯係電話:13600999797
附件
服務內(nei) 容與(yu) 驗收技術要求
一、設備編號、型號、數量
序號 | 設備編號 | 設備型號 | 數量 | 單位 |
1 | GKJ10 | i8 | 1 | 台 |
二、設備調試地點:
湖南PA视讯科技有限公司廠內(nei) 。
三、交貨(工程)期限:
乙方向甲方承諾有技術、條件、人員及能力對甲方一台Nikon i8光刻機進行維修調試。在合同生效後乙方需在20天內(nei) 將甲方現場一台i8光刻機維修調試完成並交付生產(chan) 使用。
四、驗收技術要求
1、硬件測試
No. | Acceptance Item | Specifications | 響應與(yu) 否 | 偏離情況 |
1 | 分辨率(Resolution) | 0.55um um L&S (At best Focus) | ||
2 | 焦深(DOF) | 0.6umDOF /10%CD variation | ||
3 | 曝光強度 (Exposure Power) | 500mW/cm2 or More (flash) | ||
5 | 照明均勻性 (Illumination Uniformity) | Within ±2.0% | ||
6 | 工作台步進精度 (Stepping Precision) | 3σ≤90nm | ||
7 | 掩膜旋轉(Reticle Rotation) | |M|+3σ≤20nm | ||
8 | 可靠性:Operational Test Reticle System | Success rate:100% | ||
9 | 可靠性:Operational Test Wafer System | Success rate:99% | ||
10 | wafer flatness(Max-Min) | <20 (1/10micron) | ||
11 | 平整度:Chip leveling accuracy | Within +/-1.5sec | ||
12 | 直交度:Array orthogonality | 以產(chan) 品shot拚接為(wei) 準 | ||
13 | 鏡頭畸變:Lens distortion | Within +/-90nm |
2、招標人提供條件:
本次維修調試投標人包工包料,維修期間設備所需更換的所有配件,由投標人負責購買(mai) 及更換,招標人隻提供基本的水電等基本設施。
3、設備質量要求及驗收指標:
投標人的調試遵循設備原廠的設備運行原理,在調試後應恢複到最好性能和精度,滿足招標人大規模、穩定光刻生產(chan) 的需求;設備的硬件及工藝問題,投標人負責維修和調試。驗收的方法為(wei) 必須達到招標人能大規模生產(chan) PSS工藝產(chan) 品所需的工藝技術要求,選用Φ100.8mm標準藍寶石片進行測試。投影光刻專(zhuan) 用i線光刻膠,其中藍寶石TTV≤5,塗膠膜厚中心值在2.6±0.1μm範圍內(nei) ,膠厚均勻性≤2.0%。曝光場尺寸8.5×8.5mm,以我司AOI為(wei) 檢測標準做出的PSS光刻產(chan) 品產(chan) 出無格線或明暗場、無拚接錯位;產(chan) 能要求:曝光場尺寸8.5×8.5mm產(chan) 能≥550片/天。在設備量產(chan) 操作的情況下連續800片內(nei) 無任何非人為(wei) 異常故障與(yu) 失誤。
其他工藝條件:按i線光刻工藝及相關(guan) 投影工藝而定。測定方法按行業(ye) 通行的電鏡法或雙方認可的其他方法進行。
製作維護: